１ バッチファイルの文法

定数
	例  1  2  1.0  3.17 0.2

変数
	変数名の前後に＄記号をつける。
	例  $acc_v$ $Acc$
演算子
        +,-,*,/ 加減乗除
        $a$ = $a$*1.2;
	単項演算子は使用不可。

ラベル
	ラベル名の前後に”記号をつける。
	例  "label_A"
	注意  "label_1" "label2" など数字を含めてはいけません。

代入文
	変数名 ＝ 定数；
	例 $Acc$ = 1.2; $Acc$ = $Acc1$;

コメント文
	！で始まる文はコメントとみなされる。
	！文；	

ｉｆ文
	ｉｆ 定数 ＞ 変数 ラベル；  条件が成立したらラベルへジャンプする。
	ｉｆ 定数 ＜ 変数 ラベル；  条件が成立したらラベルへジャンプする。
	ｉｆ 定数 ＞ 変数 代入文；  条件が成立したら代入文を実行する。
	ｉｆ 定数 ＜ 変数 代入文；  条件が成立したら代入文を実行する。
	
ｇｏｔｏ文
	ｇｏｔｏ ラベル； 無条件でラベルへジャンプする。
	例  goto "label_A"

システム関数

	ｃｌｋｅｎ			クロックを有効にする
	ｃｌｋｄｓ			クロックを無効にする
	ｖａｏｎ			高圧電源をＯＮする
	ｖａｏｆｆ			高圧電源をＯＦＦする
	ｆｉｌｏｎ			フィラメントをＯＮする
	ｆｉｌｏｆｆ		フィラメントをＯＦＦする

	ｓｅｔｆｉｌ		フィラメント電流設定
				setfil 目標値(A)，レート(A/100ms)
				例　setfil 2 , 0.1;

	ｓｅｔａｃｃ		加速電圧設定
				setacc 目標値(KV)，レート(KV/100ms)
				例　setacc 20 , 0.1;

	ｓｅｔｅｘｔ		引き出し電圧設定
				setext 目標値(KV)，レート(KV/100ms)
				例　setext 20 , 0.1;

	ｓｅｔｓｕｐ		サプレッサ電圧設定
				setsup 目標値(KV)，レート(KV/100ms)
				例　setsup 20 , 0.1;

	ｓｅｔｅｍｉ		エミッション電流設定
				setemi 目標値(uA)，レート(uA/100ms)
				例　setemi 20 , 0.1;

	ｇａｉｎｌ			ゲイン低設定
	ｇａｉｎｍ			ゲイン中設定
	ｇａｉｎｈ			ゲイン高設定
	ｍｏｄｅ＿ｃｖ		引き出し、又はサプレッサ定電圧
	ｍｏｄｅ＿ｃｉ		引き出し、又はサプレッサ定電流
	ｉｅｒｎｇ＿ｌ		エミッション電流レンジ低
	ｉｅｒｎｇ＿ｈ		エミッション電流レンジ高

	ｓｅｔｗａｉｔ		設定終了を待つ
				setwait EXT,EMI,FIL,ACC,SUP
				EXT,EMI,FIL,ACC,SUPはそれぞれ０又は１で、
				１が指定された設定が全て終了するまで待つ。
				例　setfil 2,0.1; setwait 0,0,1,0,0;

	ｗａｉｔ		指定時間待つ
				wait 待ち時間(100ms)
				wait 10; # wait 1 sec

	miem		エミッション電流５００ｍｓの平均値
			if文で直接使用できない。
			（例）
			$mean$ = miem;
			if 100 < $mean$ then "next";

	setmem		数値を記憶する。Max 60
			setmem メモリ番号 , 数値
			（例）引出電圧をメモリ番号０に記憶する。
			$mem1$ = vext;
			setmem 0 , $mem1$
			（注１）参照

	getmem		メモリした数値を読み込む。
			getmem メモリ番号
			（例）
			$mem1$ = getmem 0

	siem		エミッション電流積算値

	sifil		エミッション電流積算値からテーブルを使って
                        求めたフィラメント電流の値

	cfil		補正したフィラメント電流の値
                        補正係数= 1.0 + (最大補正量 x csel)/1000
			ここでcselは（−１０〜＋１０）
			例えばcsel=10で最大補正量が５％ならば
			補正係数=1.05となる。
			cfil= 補正係数 x sifil
			$filval$=cfil;
			setfil $filval$ , 0.1;
			
			とすればよい。
	
	ccfil		変換したエミッション電流の積算値から計算した		
			フィラメント電流の値。(V1.07より有効)

	ifil		フィラメント電流モニタ値(A)

	iem		エミッション電流モニタ値(A)

	iext		引き出し電流モニタ値(uA)

	iacc		加速電流モニタ値(uA)

	isup		サプレッサ電流モニタ値(uA)

	vsup		サプレッサ電圧モニタ値(kV)

	vext		引き出し電圧モニタ値(kV)

	vacc		加速電圧モニタ値(kV)

	vfil		フィラメント電圧モニタ値(V)

	ibm		イオンビーム電流モニタ値(uA)

	event		イベントの送出。
			event イベント番号。
			例  event 10,0;
			シーケンスの途中又は終了時にイベントを
			送出して、ホストにシーケンスの状態をしらせる
			ことができる。
			但し連続して送信できない。１秒以上の待ち必要。
			（注２）参照

	errchk		エラーのチェック
			errchk e1 , e2 , e3 , e4 , e5 , e6 , e7;
			e1:アラーム
			e2:加速電圧オーバ電流
			e3:引き出し電圧オーバ電流
			e4:サプレッサオーバ電流
			e5:加速電圧オーバ電圧
			e6:引き出し電圧オーバ電圧
			e7:サプレッサオーバ電圧

			e1..e7は上記のエラーをチェックするかどうか
			を指定する。1を指定するとチェックを行う。
                        １を設定したエラーのいずれか１つでもエラー状態
                        であれば本関数は０以外の値を返す。

			例  $err$=errchk 1,0,0,0,0,0,0;
			    if $err$>0 then "err";


	emih_h		エミッション累積時間。ヒーティング間隔用  （自動的にヒーティング動作をさせるため）
	emih_f		エミッション累積時間。フラッシング２間隔用  （Ｆ２のWarning)
	emih_e		エミッション累積時間。EXTAUTOの間隔用       (ExtAutoのWarning)

	vacuum		イオン源室真空度(Pa)

	pastheat        ヒーティングを実行してからの経過時間を得る。（単位秒）
                        （１０分間はヒーティングを実行させないためのタイマ）

	clrpheat	ヒーティングを実行してからの経過時間を０にする。
			以後１０分以上経過するまでHeatingボタンは押せない。
			（アプリ側でヒーティングボタンが押されたときは０クリアされる。）	

（注１）
以下のメモリ番号は特定の変数を格納する。
		０から１９番は自由に使用可。
	20: 加速電圧目標値インデックス(10KV:0 15KV:1 ... 30KV:4)
            仕様変更：加速電圧の値そのものに変更。但し互換性のため
            10kVが0、30kVが4という対応は変更せず、
            Acc= mem * 5 + 10        mem: 本メモリ値
            の計算式で設定値が求まるような値を格納する。
            
	21: エミッション目標値
	22: 引き出し電圧目標値
	23: 最大補正量（フィラメント電流）
	24: 補正量インデックス(-10:0 -9:1 .... 0:10 .... +10:20)
	25: フラッシングインデックス(flushing1:0 flushing2:1 flushing3:2)
	26: エミッションエラーレベル
	27: サプレッサエラーレベル
	28: 前回のフロー測定結果（ヒーティングしたら０にする）
		バッチファイルの中で０にした場合には、イベント
		10で０を送出する。
	29: OFFタイマのタイプ
	30: OFFタイマの値
	31: フラッシング自動実行:1   ボタンで実行:0
	32: フラッシング自動モードＯＮ:1  ラッシング自動モードＯＦＦ:0
	33: 自動フラッシングインターバル
	34: エミッション動作時間リミット(Heating用)
        35: エミッション動作時間リミット(Flushing2用)
        36: CL HV保持時間
        37: ACC保持時間
	49まで使用可能
（注２）
イベント番号の意味
	10: フローチェック値を送信。
	    送信データ:フローチェック値の表示値

            ヒーティング終了時（０にする？）など、必要ならば
	    シーケンス内でフローチェック値を変更すること。
	    
	11: EXT自動設定値の送信。
	    送信データ:EXTの値（ｋｖ）
        12: オートフラッシングタイマクリア
	20: Ion Err 4  Start	      エミッションしない。
	21: Ion Err 5  Start	      チェックフローが正しく終了しない。
	22: Ion 2      Check Flow     測定が正常終了しない。(LMIS2:startイベント)
	23: Ion 3      Flushing       既定値のエミッション電流がとれない。
	24: Ion 4      AutoExt	      引出電圧が12KV以上の設定になってしまう。
	25:   ?        SetEmission    指定したエミッション電流にならない。
	26:   ?        Heating	      フィラメント電流が流れない。
        27: Ion 1      Beam On        エミッションしない。
        28: Ion Err 6  Start	      既定値のエミッション電流がとれない。   
	30: Ion 7                     サプレッサ降下のエラー。(LMIS2:startイベント)
        31: Ion 14                    Please carry out Auto Ext. 表示。(LMIS2:startイベント)
       110:パワーOFFリクエスト
       120:CLの設定                   CLを指定値に設定する。(kV)
       121:CLの%設定                  MAXを100、MINを-100として設定。
       130:Startが正常に終了した。

バッチファイル（例）
	!BEAM ON;
	$criext$=8.4;
	vaoff;
	clkds;
	setext 0,1;
	setacc 0,1;
	setwait 1,0,0,1,0;
	gainh;
	ierng_l;
	mode_ci;
	setemi 153,5;
	setwait 0,1,0,0,0;
	clken;
	wait 10;
	vaon;
	wait 10;
	setacc 30,0.2;
	wait 10;
	setwait 0,0,0,1,0;
	setext $criext$,0.1;
	setwait 1,0,0,1,0;
	wait 10;
	"loop";
	$criext$=0.01+$criext$;
	setext $criext$,0.1;
	wait 10;
	setwait 1,0,0,0,0;
	$criext$;
	$emival$=miem;
	$emival$;
	if $emival$ > 30 "set";
	if  $criext$>9.2 "end";
	goto "loop";
	"set";
	setemi 5,0.5;
	"end";


2 ボタンと実行されるバッチファイル名の対応
					ＯＮ			ＯＦＦ
--------------------------------------------------------------------------------	
	Ｓｔａｒｔ , ＢｅａｍＯｎ	beamon.seq		xbeamon.seq
	Ｈｅａｔｉｎｇ			heating.seq		xheating.seq
	Ｆｌｕｓｈｉｎｇ１		flushing1.seq		xflushing1.seq
	Ｆｌｕｓｈｉｎｇ２		flushing2.seq		xflushing2.seq
	Ｆｌｕｓｈｉｎｇ３		hardflush.seq		xhardflush.seq
	ＣｈｅｃｋＦｌｏｗ		flowimp.seq		xflowimp.seq
	Ａｕｔｏ（Ｅｘｔ Ｓｅｔｔｉｎｇ）	extauto.seq		xextauto.seq
	Ｏｆｆ Ｔｉｍｅｒ ＴｉｍｅＵＰ				xofftimer1.seq
	Ｓｅｔ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ		setemi.seq		xsetemi.seq
	Ｔｅｓｔ Ｓｅｑｕｅｎｃｅ Ｔｉｍｅｒ 
					tsttimer1.seq